上海微系統(tǒng)所在高速數(shù)據(jù)傳輸能力的異質(zhì)集成薄膜鈮酸鋰電光調(diào)制器方面取得進展
2025-08-14 09:40
來源: 云財經(jīng)
影響力評估指數(shù)：15.58
云財經(jīng)訊，近日，中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所蔡艷研究員團隊與歐欣研究員團隊合作，通過“萬能離子刀”剝離轉(zhuǎn)移技術(shù)，在六吋圖形化SiN晶圓上集成了高質(zhì)量的鈮酸鋰薄膜，并通過晶圓級工藝制備出具備高速數(shù)據(jù)傳輸能力的異質(zhì)集成薄膜鈮酸鋰電光調(diào)制器。該異質(zhì)集成方案中，氮化硅與薄膜鈮酸鋰形成混合波導，鈮酸鋰薄膜無需刻蝕加工，簡化了工藝流程。該工作不僅對全流程晶圓級制備硅光異質(zhì)集成薄膜鈮酸鋰電光調(diào)制器進行了探索，而且為未來硅光平臺與薄膜鈮酸鋰進行晶圓級異質(zhì)集成的量產(chǎn)奠定了一定基礎(chǔ)。
云財經(jīng)智能匹配相關(guān)概念
| 新聞標題 | 時間 | 消息來源 | 新聞熱度 |
|---|---|---|---|
| 英國調(diào)查谷歌是否在廣告技術(shù)領(lǐng)域涉嫌反競爭行為 | 12-16 20:10 | 云財經(jīng) |
|
| 昆侖芯即將完成股改：加速沖刺上市，2025年營收遠超20億元 | 12-16 16:49 | 云財經(jīng) |
|
| 美國：反特朗普的知名導演遇害 特朗普言論引發(fā)批評 | 12-16 16:45 | 云財經(jīng) |
|
| 貴金屬板塊持續(xù)下挫 | 12-16 11:26 | 云財經(jīng) |
|
| 長青集團：全資子公司完成49%股權(quán)內(nèi)部轉(zhuǎn)讓及工商變更 | 12-15 19:59 | 云財經(jīng) |
|
| 國家統(tǒng)計局：工業(yè)消費品價格回升 | 12-15 10:47 | 云財經(jīng) |
|